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高校院所科技成果
激光拋光技術
合作方式:其他
成果內容
利用激光作用下材料表面快速熔化-流動-凝固的過程降低表面粗糙度,提高表面質量達到應用要求。基于激光熔凝過程和表面張力、重力等多向作用力,實現復雜曲面粗糙度降低的等材拋光
技術指標和市場前景
金屬構件Ra降到0.1-0.2μm,硅片Ra降到5.0-6.5nm,拋光效率可達50-300 cm^2/h。用于鈦合金等金屬增材件或鑄/鍛造復雜內/外面拋光以及硅基半導體器件高精高效拋光,市場規模數億
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